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使用BoPET铰链的微加工水浸式扫描镜

www.sdfriendship.com 发布时间:2021/9/30

水浸式扫描镜可用于扫描超声和光声显微镜中的聚焦光束和超声束。

开发了一种新的制造工艺,以实现水浸式扫描镜的最小化和批量制造。

建立了新的3D多物理场有限元模型,用于模拟静态和动态机电行为。

通过实验测试和表征验证了该水浸式扫描镜的扫描性能。

本文报道了一种新的采用BoPET(双轴取向聚对苯二甲酸乙二醇酯)铰链的微加工两轴水浸式扫描镜。开发了一种基于在混合硅-BoPET基板上进行深等离子体刻蚀的新制造工艺,以实现高分辨率图案化和批量制造能力。为了演示,设计,制造和测试了原型扫描镜。它的整体尺寸为5×5×5毫米3,可与典型的硅基微扫描镜相媲美。采用短铰链设计,镜板尺寸达到4×4 mm2为光学或声束转向提供更大的孔径。在空中,快轴和慢轴的共振频率分别为420 Hz和190 Hz。当浸入水中时,共振频率分别降低到330 Hz和160 Hz。反射镜围绕快轴和慢轴的倾斜角度与驱动电流高达±3.5°呈线性关系。通过同时驱动两个轴,可以在空气和水中获得稳定且可重复的光栅扫描图案。微加工的水浸式扫描镜可用于空气和液体环境中的各种扫描光学和声学显微成像应用。

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